某半导体技术集成电路芯片研发厂在晶圆激光加工步骤中，选择硅烷展开硅外延性生長，空气洗衣塔产生了高硫含量含硅生产焦化废水。生产焦化废水享有pH变化大（2-11）、硅硫含量高的优点和缺点，过去的工作的方法易产生硅垢梗塞现象。 工业废水营养成分及來源 废水处理方法主耍营养成分为： 溶解出来性硅酸盐 ：SiO₂盐浓度达1000-1500mg/L 盐酸/氢氧化物钠 ：洗滌塔腐蚀性洗滌液留下 粒状硅 ：奈米级SiO₂溶液 痕量砷 ：配料钙镁离子携带 整理工艺技术步骤 科学创新适用"有级中合+膜过虑+蒸发器晶粒"工艺设备： 两级结合 ：用CaO调低pH至4-5，形成硅酸钙滤渣，硅清除率60%。 下级与 ：加Na₂CO₃将pH升高至9，进十步沉定超过硅，串连用镁剂除砷。 反渗透装置软件系统 ：0.02μm陶瓷厂家膜滤水奈米级硅粒子，通量稳定性在80LMH。 MVR减压蒸馏器 ：浓缩咖啡高盐工业废水，成果出Na₂SO₄副服务，水造纸废水处理率超90%。 结果是作用 总硅从1500mg/L降低5mg/L这 砷含氧量从0.8mg/L减至0.01mg/L 系统性无水垢开机运行不超2年 今年回收分类处理浓盐酸钠尖晶石约800吨