某半导体材料生产加工商家因晶圆洗工步会产生含氨生活污水,的水量200吨/天。生活污海里除氧化还原电位外还带有氟化物和进样器血本属,外理一定的难度大。当地的减排规定追求氧化还原电位<5mg/L,氟化物<3mg/L。
生产废水成分表及因素
晶圆清晰污废水 (常见源于):含高锰酸盐指数200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀流程废渣:含少量铜、镍等血本属,pH值冲击大
CMP研磨抛光废水处理方法:含硅粒状及高锰酸盐指数
进行处理方法具体步骤
用到"电学水解+膜脱离+折点氯化"乐队组合加工过程:
预治理
:污泥脱水CaCl2除氟,掌控pH在7.5-8.
超滤膜系统软件
:快速清理0.01μm大于小型颗粒物物
反渗入浓缩提炼
:将挥发酚浓缩咖啡至1000mg/L往上
折点氯化
:精准保持氯加药系统量,将氯离子转变成为离氮气
阳离子交換
:保险巨资属标准
既定疗效
化学需氧量不稳定性<3mg/L,氟化物<1mg/L
血本属水分含量低过检测工具限
水回收利用率达75%
活性污泥出现量减小40%