半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
工程图片背景
该半导体材料中小型企业坐落于长半圆地,重要产量84寸大和124寸大晶圆,日污染物废供水量约2000吨。伴随产量技艺麻烦,废硫酸铜溶液富含多个难分解充分物和血本属铁离子,普通加工处理方案难易需求逐步要严格的污染物规格。
废水处理方法组成成分及起源
污水大部分主要来原于4个过程:晶圆水刀激光切割污水包含的很多硅粉和水刀激光切割液残余;化学工业机制增加光泽污水中含固体硅和研磨机颗粒肥料;刻蚀清晰污水包含的氟化物、铜正离子等巨资属;光刻流程污水则包含的光阻剂等生物碳废弃物物。水质检测优势特点是COD高(800-1500mg/L)、氟化物有机废气浓度高(200-400mg/L)、浮窗物多且包含的少量巨资属。
加工技术鑫霖环保
进行"有机化学预办理+生物化办理+宽度办理"的组合起来工艺流程:
转换池义均土质需水量
沥青混凝土积累祛除悬浮按钮物和橡胶胶体部分物
药剂学乳浊液法专治疗氟化物,污泥脱水钙盐建立氟化钙乳浊液
溶解酸性反应池提升废水处理工艺可血生化性
相处空气氧化池溶解可挥发感染物
过滤性炭过滤塔完成角度加工处理
膜转移体系狠抓出水量污水水质保持稳定
对含铜废污水随便布置阳离子交換系统化,的回收利用有价值观的金属材质铜。
后面目的
新项目竣工后电脑运行稳定性,留水COD<50mg/L,氟化物氧渗透压<5mg/L,铜亚铁离子氧渗透压<0.3mg/L,一项质量指标均相较于国度《网上工業水造成的生态环境有害特性排污量基准》(GB 39731-2020)。每次可少COD排污量约300吨,氟化物排污量约50吨,回笼铜废金属约2吨,建立了生态环境竞争力与资金竞争力的互赢。