半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
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该房产园密集了十余家半导体芯片想关中小型各个制造业企业,设计方案日进行解决能力素质5000吨,须要进行解决位于区别中小型各个制造业企业的混合型喂养生活污水处里。随着各中小型各个制造业企业生产的工艺流程距离大,生活污水处里有效成分很复杂善变,进行解决关卡较高。
废污水基本成分及源于
生产工业废污水核心具有3大类:高溶液含量可挥发生产工业废污水(光刻胶、显影液液等)、含氟生产工业废污水(刻蚀步骤)和酸碱性生产工业废污水(洗步骤)。特种化学成分具有异丙醇、四甲基氢脱色铵等难挥发可挥发物,、氟化物、高锰酸盐指数等有机被大气污染物。生产工业废污水COD冲击大(500-3000mg/L),氟化物溶液含量100-500mg/L,高锰酸盐指数50-150mg/L。
操作施工工艺环节
使用"归类获得+分质处置+分散淬硬层处置"的去创新经营模式:
企业的内控分类整理预办理:含氟污水随便搜集并预办理
居民小区污水管等分为输送带系统化
网络综合调理池均匀水质检测
二级混泥土结晶快速清理自动隐藏物和悬浊液
快速怪物生理物反应器(HBR)加工处理有机的生态破坏物
三氧催化反应物氧化物吸附难降解有机化合物物
ro反渗透性体统进行脱盐加工
UVUV线UV消毒为了确保出水出水的安全
尤其是设立了上线数据监测软件和自主投加药剂软件,因对生活饮用水动荡。
结果英文体验
系统启用一年来,处理结果相对稳定可信度。冒水COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,氧化还原电位<5mg/L,总氮<15mg/L,达成水质监测Ⅳ类标准单位,这部分回收利用于产业园园林景观及加热塔补充水分,回收利用率已超30%。每一年下降新鲜毛肚水应用约30万吨,为产业园工业企业节省成本电费数十万余万元。